場區主要處理單元包括攔污柵、沉砂池、沉澱池、表面自由水層系統(FWS)、礫間淨化系統及放流池等。主要由沉砂池、沉澱池去除部分SS，並經一連串卵礫石水道至9區表面自由水層系統(FWS) 之生態池，最後行經礫間淨化系統，後端放流至頭前溪，以達淨化水質之功效。